ZERODUR マシナブルガラスセラミック

ZERODUR は、熱膨張係数 (CTE) がゼロに近く、広い温度範囲にわたって優れた寸法安定性を発揮するという最も顕著な特徴で知られる高性能ガラスセラミックです。{0}{1}名前には「セラミック」が含まれていますが、厳密には特殊な熱処理 (セラミック化) を受けて、その構造内に均一に分散したナノ結晶を形成したガラスです。これにより、独特の物理的特性が得られます。 「機械加工可能」という用語は、最終的なセラミック化の前に「グリーン」状態で従来のガラス加工技術 (切断、穴あけ、研削など) を使用して比較的容易に成形できるという事実を指します。その後、この熱処理を通じて最終的なゼロ膨張状態に変換されます。-

• 極めて優れた熱安定性とゼロに近い膨張: 平均熱膨張係数は、室温付近の広い温度範囲にわたってゼロに近くなります。これは、環境温度の変化によって材料の寸法変化がほとんど起こらないことを意味します。これが、高精度プラットフォームや光学部品の基板としての主な利点です。-
• 優れた構造均一性と等方性: 材料の内部構造は均一であり、その物理的特性 (膨張係数、ヤング率など) は全方向で一貫しており、方向の違いによって引き起こされる変形や応力の問題を回避します。
• 高い硬度と耐摩耗性: 高い表面硬度、優れた耐摩耗性、耐傷性を備えているため、長期的な表面精度が必要な用途に適しています。-
• 優れた化学的安定性：水、酸、アルカリ、有機溶剤に対して良好な耐性を示し、さまざまな環境に適しています。
• 真空適合性: この素材は非多孔質、非吸湿性で、ガス放出率が非常に低く、高真空および超高真空環境の要件を完全に満たしています。{{2}
• 機械加工性: 最終的なセラミック化前の「緑色のガラス」状態では、機械加工が可能です。完全にセラミック化した後は、非常に硬いですが、ダイヤモンド工具を使用して超精密に研削および研磨して、光学面の品質を達成することができます。-

• 熱膨張係数 (CTE、0 度から 50 度): ≈ 0 ± 0.10 x 10⁻⁶ /K (範囲が異なる「クラス 0」、「クラス 1」、「クラス 2」など、さまざまな精度グレードが利用可能)。
• 密度: 約 2.53 g/cm3。
• ヤング率：約90.3GPa。
• ポアソン比：約0.24。
• 熱伝導率(20度)：約1.46W/(m・K)。
• 比熱容量(20度)：約0.80J/(g・K)
• 最高動作温度（長期）: 約 500 度。
• 透明度: 不透明で、通常は白または明るい色です。

ZERODUR は、その比類のない寸法安定性と包括的な物理的特性に基づいて、熱変形耐性と長期安定性に対する非常に厳しい要件がある分野で広く使用されています。-

• -ハイエンドの光学と天文学:

大型天体望遠鏡用のミラー ブランク: 世界中の主要な地上望遠鏡や宇宙望遠鏡（超大型望遠鏡 VLT、大型総観測量望遠鏡 LSST など）の主鏡と副鏡に選ばれる素材です。{0}

リソグラフィー装置用光学システム: 極端紫外 (EUV) リソグラフィー スキャナーなどのコア半導体製造装置の反射基板に使用されます。

高精度の反射鏡と平面ミラー:-レーザー干渉計、衛星地球観測システム、宇宙望遠鏡で使用されます。

• 精密測定と計測:

基準スケールとエタロン: 長さと角度の測定のための非常に安定した物理的標準として機能します。

レーザー ジャイロスコープ用の光学キャビティ: 高精度の慣性ナビゲーション システムに安定した共振キャビティを提供します。{0}

干渉計プラットフォームとベース: 重力波検出器 (LIGO など) やナノスケールの表面トポグラフィー測定システムなどの超精密測定装置-で使用されます。

• 半導体製造・検査装置：

ウエハ ステージとレチクル ステージ: リソグラフィおよび検査装置でシリコン ウエハまたはレチクルを搬送します。ナノメートル レベルの熱安定性と平坦性が必要です。{0}}

精密モーション プラットフォームのベース: このような機器の精密位置決めシステムに堅牢で安定した基盤を提供します。

• 航空宇宙および科学研究:

衛星構造コンポーネントと光学支持構造: 宇宙の急激に変化する温度環境でも形状と寸法を維持します。

高エネルギー物理学実験装置: 粒子検出器用の支持構造や反射板など。

人気ラベル: ZERODUR 機械加工可能なガラス セラミック、ZERODUR 機械加工可能なガラス セラミックのメーカー、サプライヤー、工場