半導体セラミックノズル

製品説明

製品性能

• 優れた耐摩耗性と長い耐用年数: セラミック材料は非常に高い硬度を備えており (たとえば、995 アルミナ セラミックは Hv1500 を超え、ジルコニア セラミックも同様に優れています)、フォトレジストや研磨液などのスラリー中の固体粒子による長期の摩耗に効果的に抵抗します。-
• 優れた耐化学的耐食性: フォトレジストの溶剤、強酸/アルカリ洗浄液、反応性ガス、その他の腐食性物質に対して優れた耐性を示し、長期間使用しても錆びや化学的劣化がありません。
• 優れた熱安定性と寸法安定性: セラミックは熱膨張係数が極めて低いため、プロセス温度の変動下でも一貫したミクロン-、さらにはナノメートル-レベルの細孔形状と寸法を維持します。
• 高い表面仕上げと低汚染性: セラミック焼結体は、精密なセラミック加工により鏡面仕上げを実現できます。{0}表面は粒子が付着しにくく、非磁性で、掃除が簡単です。-
• 優れた絶縁性と機能性：セラミックは優れた絶縁体です。アルミナは優れた絶縁性能を備えており、アルミナ絶縁体や ZrO₂ 絶縁セラミック板によく使用されます。窒化アルミナセラミックは高い熱伝導性も示し、特別な温度制御要件が必要な用途に適しています。

製品アプリケーション

• プラズマ エッチャー: エッチング ガスを均一に分配するためのガス スプレー ヘッドまたは側壁ノズルとして機能します。
• 化学蒸着装置: PECVD および ALD プロセスでは、前駆体ガスを反応チャンバーに均一に導入します。
• イオン注入装置: イオンビームを誘導し、形成するために使用されます。
• 拡散炉：ガス噴射ノズルとして機能します。

当社は一貫性を確保するために ISO 9001 品質管理システムに厳密に従います。

• 原材料の全数検査
• 高度なホットプレス生産ライン-
• -社内試験: 密度、硬度、微細構造分析
• 第三者認証-（リクエストに応じて SGS、CE、ROHS を利用可能）

証明書と栄誉

当社は、焼結、成形、研削、CNC加工、レーザー穴あけ、研削、研磨などのプロセスにおける高度な技術専門知識を持っています。各種セラミックス製品をお客様のご要望に応じてカスタマイズいたします。

工場の強み