製品説明

半導体セラミックリングは、半導体製造プロセスの重要な段階で使用される高性能特殊セラミック部品です。{0}通常、高純度、高密度の精密セラミック材料で作られており、円形リング構造が特徴です。-拡散、酸化、化学蒸着 (CVD)、エッチングなどのプロセスに使用される半導体装置の反応チャンバー内の重要な消耗部品として機能します。

その主な機能には、高温、腐食性の高いガス、プラズマ衝撃、急速な熱サイクルなどの極端な動作条件に耐えながら、シリコンウェーハをサポートする（または特定のプロセスガス環境と均一な流れ場を形成する）ことが含まれます。{0}}したがって、その性能はプロセスの安定性、均一性、粒子汚染制御、そして最終的には最終的なチップ製品の歩留まりに直接影響します。

Semiconductor Ceramic Rings

製品詳細

製品名	半導体セラミックリング
色	クライアントの要件に応じてカスタマイズ
サイズ	クライアントの要件に応じてカスタマイズ
包装	カートン/パレット/木製ケース (クライアントの要件によると)
納期	標準商品-3 日以内
アイテムデザイン	クライアントの図面またはサンプルによると
特徴	高品質、低価格、複数の工場、あなたの場所に最も近い工場に基づいて配送します
応用	工業用セラミックス
証明書	ISO、CE

主なパフォーマンス特性

高純度の材料

高純度のセラミック原料を選択することで、半導体製造プロセスにおける不純物の干渉を効果的に低減します。{0}半導体セラミックリングは通常、酸化アルミニウムや窒化ケイ素などの高純度セラミック材料で作られています。これらは非常に高い硬度を持ち、加工中の機械的応力に耐えることができ、チップの歩留まりと性能安定性を効果的に確保します。

優れた高温耐性

半導体製造の複雑なプロセスフローでは、拡散やアニーリングなどの多くの重要なプロセスステップを過酷な高温環境で実行する必要があります。{0}}半導体セラミックリングはこの点で並外れた性能を実証しており、数百度、さらには数千度の高温にも耐えることができます。このような極端な高温条件下でも、半導体セラミックリングは良好な機械的強度と構造的完全性をしっかりと維持できます。さらに、高温や低温の急激な温度変化にさらされても、半導体セラミックリングは変形、亀裂、軟化などの悪影響を及ぼしません。これにより、半導体製造における高温プロセスをスムーズに進めるための堅固で信頼性の高いサポートが提供され、チップの品質と歩留まりが大幅に向上します。-

優れた化学的安定性

半導体セラミックリングは、優れた化学的安定性とさまざまな化学物質に対する優れた耐食性を備えており、過酷な処理環境でも安定した状態を維持できるため、チップ製造プロセスの純度および信頼性が保証されます。

正確なサイズ制御

半導体セラミックリングの製造プロセスは、非常に高い寸法精度を達成できます。半導体セラミックリングの内径、外径、厚さ、表面の平坦度などのパラメータは、極めて小さい公差内で正確に制御できます。チップ製造装置では、この正確な寸法の適合が非常に重要です。半導体セラミックリングは、ウエハ、電極、反応チャンバーなどの他のコンポーネントと完全に連携して、プロセスガスや液体の均一な流れ、電場や磁場などの物理場の均一な分布を保証します。これにより、チップ製造プロセスにおけるプロセスの均一性と再現性が向上し、大規模、高効率、高品質のチップ生産を実現できます。-

優れた電気絶縁性能

半導体セラミックリングは優れた電気絶縁特性を備えており、故障することなく高電圧に耐えることができます。この機能により、半導体セラミックリングはチップ製造装置の電極系や回路接続部などの要所で絶縁・絶縁の役割を果たし、半導体製造工程における電気システムの安全性と安定性を確保し、電気的トラブルによるチップの損傷や生産事故を回避します。

市場への応用

半導体セラミックリングは主に、拡散/熱処理、化学蒸着 (CVD)、およびドライエッチング (エッチング) という集積回路製造の 3 つの中核分野で使用されます。

拡散/酸化/LPCVDプロセス

高温炉管では、セラミックリング（「ボートパドル」または「ボート」と呼ばれることが多い）を使用して、複数のシリコンウェーハを水平または垂直に積み重ねて支持します。最大 1200 度の温度ですべてのウェーハを均一に加熱し、汚染のない状態を確保する必要があります。{2}アルミナセラミックリングはこのような用途に広く使用されています。

化学蒸着 (CVD) プロセス

CVD 反応チャンバーでは、セラミックリングがサセプターまたはチャンバーライナーとして機能し、ウェーハをサポートし、反応ガスの流れ場を最適化します。均一な熱伝導は、一貫した成膜を達成するために重要です。窒化アルミニウムセラミックリングは、その優れた熱伝導性により、この分野で広く使用されています。

ドライエッチングプロセス

これは、セラミックリングにとって最も要求の厳しい用途の 1 つです。高エネルギーのプラズマと腐食性ガスで満たされたエッチングチャンバー内では、セラミックリングがフォーカスリング、閉じ込めリング、またはチャンバーライナーとして機能します。-それらの主な役割は、プラズマ分布の均一性を制御し、金属チャンバー壁を腐食から保護し、粒子汚染を減らすことです。酸化イットリウム (Y₂O₃) セラミックリングフッ素ベースのプラズマ浸食に対する比類のない耐性により、高度なエッチングプロセスに最適な選択肢となっています。{0}}

その他の補助的な用途

また、測定システムや搬送システムの絶縁コンポーネントとして、またはウェーハハンドリングロボットのリミットリングとしても機能します。

製品性能

番号	パフォーマンス	ユニット	窒化アルミニウム
			窒化アルミニウム
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	密度	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	曲げ強度	MPa	340~360	400~420
3	破壊靱性	MPa・m1/2	3.35	3.35
4	誘電率	εr(20度、1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	硬度	GPa	12-16
	硬度	HRC	75-80
6	体積抵抗率	Ω・cm(20度)	10 10	10 10
7	弾性率	GPa	310	320
8	熱膨張係数	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	圧縮強度	MPa	2100	2000
10	擦り傷	g/cm2	0.01	0.01
11	熱伝導率	W/m×k(20度)	200~220	160~180
12	ポアソン比	/	0.24	0.24
13	絶縁強度	kv/mm	26~28	30~32
14	温度	程度	2500	2500

品質管理

ISO 9001 品質管理システムを厳格に遵守し、当社は全プロセスの品質管理を導入し、高品質の製品を一貫して提供することを保証します。{{1}

• 原材料を100%検査し、供給元からの品質を保証します。
• 安定した信頼性の高いプロセスを実現する高度なホットプレス生産ラインの利用-
• 密度、硬度、微細構造分析をカバーする包括的な社内試験システム-
• サードパーティの権威ある認証の利用可能（リクエストに応じて提供される SGS、CE、ROHS など）。{0}

当社は今後も管理システムの継続的な改善に努め、お客様に一貫した信頼性の高い製品保証を提供します。

certificate

なぜ私たちを選ぶのか

当社は、さまざまな半導体セラミックリングの専門メーカーおよびサプライヤーです。私たちは専門の半導体セラミックリング生産工場とチームを持っています。また、当社は半導体セラミックリングを専門とし、米国に会社を持っています。率直に言って、私たちは非常に専門的で誠実なサービスを提供します。高品質の半導体セラミックリングやその他のセラミックメーカー、長期の海外パートナーが必要な場合は、-お気軽にお問い合わせください。{6}}私たちは、難易度の高いカスタマイズをサポートし、お客様のニーズを満たすために最善を尽くします。-

セラミックチャックについてご質問がある場合は、こちらをクリックしてください。お問い合わせボタンをすぐに押していただければ、専門のカスタマーサービスがご質問にお答えします。
ご来店をお待ちしております！